밸런스스테이지(Balance Stage) ? 세계 최초 면지지(Area Support) 구조의 고하중·고정밀 Tip/Tilt(Pitch-Roll) 정렬 스테이지
· 2축 수동/자동 틸트 스테이지: 반복정밀도 ±5μrad, 자동보정 3초 이내, 최대 대응하중 1,000kg
· 3축(Tip/Tilt+Z) · 4축(Tip/Tilt+X/Y) · 5축 스테이지: 고객 장비 맞춤 설계
· 전용 연산보드: RS-485/EtherCAT 기반 임베디드 제어
· BalanceMaster SW: 실시간 각도 모니터링, 평탄도 분석, 레시피 관리, C#/C++ 라이브러리 제공
적용 분야: Wafer Prober 검사, ALD·CVD 각도 정렬, Wafer AOI·표면 연마, Photo Mask 펠리클 합착, microLED 전사·합착, 광트랜시버 정렬, 2차전지 비파괴검사

Balance Stage ? the world's first area-support high-load, high-precision Tip/Tilt (Pitch-Roll) alignment stage
· 2-axis manual/motorized tilt stages: ±5μrad repeatability, auto-correction within 3 sec, up to 1,000kg load
· 3-axis (Tip/Tilt+Z), 4-axis (Tip/Tilt+X/Y) and 5-axis stages: custom-built for customer equipment
· Dedicated control board: RS-485/EtherCAT embedded control
· BalanceMaster SW: real-time angle monitoring, flatness analysis, recipe management, C#/C++ libraries
Applications: wafer prober inspection, ALD/CVD alignment, wafer AOI/polishing, photomask pellicle bonding, microLED transfer, optical transceiver alignment