신개념 진공흡착 다공질 세라믹 흡착스테이지 "aeroFIX"

세라믹 내부에 무수히 많은 기공이 있는 것이 특징으로 스폰지 구조와 같이 여러 방향으로 공기가 흐를 수

있도록 제작된 특수한 세라믹입니다. “areoFIX”는 특수 개발한 소결제를 이용하여 균일한 크기의 기공을 형성,

40%이상의 기공율을 가진 것이 특징입니다.

 

독자의 소재, 소결 기술로 실현한 6-Advantage

1. 정전기 제거 효과

? 정전기 확산성이 뛰어나 정전기 방지 재료로서 최적

? 이오나이저와 같은 추가 장비 불필요

? 표면저항 (106~109Ω/Cm2)

2. 부분 흡착 가능

? 각종 워크 사이즈에 1대로 대응

? 워크의 종류, 사이즈에 따른 진공척 교환이 불필요

? 코스트 절감과 작업 효율 향상을 실현

3. 비접촉 부상 반송을 실현!

? 워크는 부상유닛 위에서 띄워지며 경미한 힘으로움직일 수 있습니다.

? 워크의 오염, 스크래치 위험을 방지

4. 고성능 고정도의 균일흡착

? 박막필름 등 흡착에 민감한 워크에 최적

? 알루미늄 등 메탈 계열의 기존 홀타입 진공척과달리 워크의 변형 및 처짐, 뒤틀림, 끝단 말림을 해결

5. 기존 장치에 올려만 놓아도OK

? 현재 사용하고 있는 진공척 위에 올려만 놓아도 기능을 발휘

? 별도 체결 불필요

6. 다양한 형상, 사이즈 대응

? 주문제작으로 고객이 원하는 형상, 사양에 맞추어 제작 가능

 

다공질 세라믹 스테이지 종류

평판타입 / 롤타입 / 웨이퍼 척 / 백색타입 / 투광타입

 

활용분야 : 검상장비 / 라미네이팅 장비 / 스크라이브 장비 / 이송 장비 / Roll To Roll 

필름, FMM, 분리막, 글라스, 웨이퍼, PCB등 제조, 생산공정 설비에 적용가능 반도체, 디스플레이 , 2차전지, 태양광 등 제품 생산 설비의 진공 흡착, 에어 부상이 필요한 모든 공정에 적용 가능합니다.

 

“Clean Dash” 이물 제거/ 보호필름 박리 Roller

 

Clean Dash는 연질고무 재질로 고무 자체에 점착성을 보유, 반영구적인 사용이 가능합니다.

파티클 및 이물 제거, 보호필름 박리 등에 유용하며 지속적인 사용으로 점착력이 떨어졌을 경우 알코올이나 용제 등으로 이물을 닦아내어 주면 점착력이 복원되어 반영구적인 사용이 가능합니다. 

정전기 제거, 방지 타입/ 점착 강도 조절 가능 유저 사용 환경에 맞춘 주문제작 대응이 가능.

 

New concept porous ceramic stage "aeroFIX"

It is characterized by countless pores inside the ceramic, allowing air to flow in many directions,

such as sponge structure.

It is a special ceramic designed to produce even-sized pores using specially developed sintering

agents, It is characterized by a porosity of more than 40%.

 

6-Advantage realized with Nanotem Korea’s own materialand sintering technology.

1. Static elimination effect

? It has excellent electrostatic diffusion and is ideal as an antistatic material.

? No additional equipment such as ionizer.

? Surface Resistance(106~109Ω/Cm2)

2. Partial adsorption possible

? One for different work sizes.

? There is no need to replace the vacuum chuck according to the type and size of the work.

? Reduce costs and increase work efficiency.

3. Applicable for non-contact floating conveyance

? The walk floats above the injury unit and can be moved with minor force.

? Avoid contamination and scratch risk of work.

4. High-performance, high-precision,uniform suction force!

? Best for adsorption-sensitive work such as thin film.

? Unlike metal-based hole-type vacuum chuck such as aluminum Resolve deformation and

sagging, distortion, and end curls of the work.

5. Just place it onto your current equipment!

? It works just by putting it on the vacuum chuck you are currently using.

? No need to fasten it separately.

6. Various shapes and sizes

? It can be make to oredr meet the shape and specifications of the customer.

 

Types of Porous Ceramic Stage

Flat type / Roller type / Wafer Chuck / White type / Transmitting type

 

Application : Inspection equipment / Laminating equipment / scribe equipment / Transfer equipment / Roll To Roll

Applicable to manufacturing and production process facilities such as film, FMM, separator,

glass, wafer, PCB, etc.It can be applied to all processes that require vacuum adsorption and air floating of facilities such as semiconductors, displays, secondary batteries, and solar power.

 

“Clean Dash” 

 

Clean Dash is made of soft rubber and has adhesion to the rubber itself and can be used semi-permanently.
It is useful for removing particles, foreign substances, and peeling protective films. If the adhesion is reduced due to continuous use, wipe the foreign substance with alcohol or solvent to restore the adhesion and allow semi-permanent use.
It can remove static electricity and adjust the anti-static type/adhesive strength. It can be customized according to the user's usage environment.