제 26회 반도체 대전 SEDEX 2024
October 23 ~ 25 / COEX SEOUL
NanoSystem Co.,Ltd.
Booth No.C311반도체·디스플레이·차세대 반도체패키징·미세가공 분야에서 WSI (White light Scanning Interferometry) 방법을 이용한 표면 형상 측정 시스템을 제공합니다.
Ø 101.5um/s 속도로 빠른 측정 가능.
Ø 높은 반복능 및 재현성 (0.1% @ 1σ / VLSI 시편 기준, 16회 반복)
Ø 0.1nm 의 높은 분해능으로 단차,높이,표면거칠기 한번에 측정
Ø 전처리 없으며 , 비파괴 측정이 가능
Ø 배율에 상관없이 분해능이 일정.
Ø 정합기능 사용으로 넓은 면의 세밀한 분석
It provides surface shape measurement system using WSI (White Light Scanning Interferometry) method in semiconductor, display, next genration semiconductor packaging, and fine processing.
Ø 101.5um/s for fast measurement.
Ø High repeatability and reproducibility (0.1% @ 1σ / VLSI coupons, 16 iterations)
Ø Measure single difference, height, and surface scrubber at one time with high resolution of 0.1nm
Ø No pre-treatment, non-destructive measurement possible
Ø Resolution is constant regardless of scale.
Ø Detailed analysis of the wide surface by using the convergence function
주식회사 나노시스템은 세계적 수준의 3차원 측정·검사 분야의 솔루션 파트너입니다.
저희 나노시스템은 2003년에 설립되어 반도체 및 디스플레이 분야 등에 3차원 측정·검사 시스템을 제공하고 있으며, 해당 분야에서 끊임없는 연구개발을 통한 독창적인 기술로 국내는 물론 해외시장 개척에 성공하였으며, 안정적인 서비스를 제공하고 있습니다. 당사는 고객요구사항 만족을 위한 노력으로 경영혁신·기술개발·인재양성·원가절감 등을 통하여 고객 가치창조의 새로운 파트너 로서의 전 임직원이 끊임없이 노력하고 있습니다.
또한 21세기의 급변하는 시장 상황과 고객의 요구에 최고의 만족을 제공하는 일류기업이 될 것입니다.
(주)나노시스템은 앞으로도 고객과의 약속을 최우선으로 하여, 고객 분들께 최고의 가치를 창출하고 고객만족 극대화를 추구하여 주주들의 신뢰에 보답하는 세계일류 우량기업으로 도약할 수 있도록 노력하겠습니다.
NanoSystem Co., Ltd. is the world-class 3D measurement & inspection solution provider. Since its inception in 2003, NanoSystem has provided 3D measurement & inspection systems for the semiconductor and display industries and has successfully expanded into overseas markets as well as the Korean market through continuous research and evelopment in its business field, establishing itself as a reliable solution provider. In an effort to meet the needs of customers, all employees of NonoSystem are working hard to create value for customers as their partners mainly through business innovation, technology development, talent development and cost saving. In addition, NanoSystem will strive to become the leading company that provides the greatest satisfaction for customers by meeting their needs in this rapidly changing market environment of the 21st century. NanoSystem will continue to create the greatest value for customers and pursue maximum customer satisfaction, making it a top priority to keep its promise to customers, so as to repay the trust placed in us by shareholders and evolve into the high-performing top-notch company on the global stage.