SPOES / AEGIS-7W

[ 소형 Plasma Module을 내장하여 반도체/ 디스플레이 제조 설비의 배기 라인으로 배출되는 Gas를 분석함으로써 공정 변화 상태를 모니터링하는 센서 ]

- 오염 내구성이 강하여 장기간 PM 없이 사용 가능

- 실시간 leak 검출

- Dry cleaning endpoint 검출

- Source fault 검출

- 반도체/ 디스플레이 제조 공정 챔버의 leak를 실시간으로 검출 가능하여 대형 사고를 미연에 방지

- 반도체 분야 CVD, ALD, Diffusion, All TM 사용 가능

- 디스플레이 분야 BP(Array), TSP, EN, All TC/HC 사용 가능

SPOES / AEGIS-7W

[ Sensors equipped with a small plasma module analyze gas discharged to the exhaust lines of semiconductor/display manufacturing facilities to monitor the change state of processes ]

- Pollution-resistant and durable, for extended use without PM

- Detects leaks in real time

- Dry cleaning endpoint detection

- Source fault detection

- Prevents major accidents through real-time detection of leaks in semiconductor/display manufacturing process chambers

- Applied to CVD, ALD, Diffusion, All TM in the semiconductor sector

- Applied to BP (Array), TSP, EN, All TC/HC of the display sector

- Yield and throughput improvement