본문바로가기

제 26회 반도체 대전 SEDEX 2024

October 23 ~ 25 / COEX SEOUL

2024 참가업체 디렉토리

알티엠

RTM

Booth No.C601
  • CEO성기석 / Kisuk Sung
  • ADDRESS서울특별시 강남구 역삼로3길 11, 1001, 1002, 1101호(역삼동, 광성빌딩) / Gwang-seong Building 1001, 1002, 1101ho, 11, Yeoksam-ro 3-gil, Gangnam-gu, Seoul, Republic of Korea
  • CONTACTTel. +82-2-2088-6780 / Fax. +82-70-7543-6780 / URL. https://rtm.ai
  • 제조품목

     

    반도체 장비 성능 진단 AI 플랫폼 EHM(Equipment Health Manager)


    EHM 개요

    EHM은 반도체 공정 데이터 특성을 이해하는 도메인 최적화된 딥러닝 기술을 기반으로 반도체 장비의 성능 진단 및 개선을 지원하는 AI 솔루션 플랫폼입니다. 양산 라인에서 가동 중인 설비에도 연동이 가능하며, 실시간으로 모든 설비 파라미터를 분석해 FDC나 SPC에서는 탐지할 수 없거나 놓치기 쉬운 미세한 변화까지 캐치하여 설비 이상을 정밀하게 탐지합니다. 또한 공정 결과를 예측하는 솔루션까지 보유하여 설비의 불량 관련 문제들을 정밀 탐지할 수 있도록 구현하였습니다.

     

    EHM 기능 구조

     

    EHMBasic SolutionAdvanced Solution의 결합으로 구성되어 있습니다. 확장성을 고려한 유연한 시스템 구조 덕분에 반도체 장비의 지능화 및 고도화를 위하여 필요한 솔루션을 맞춤 개발하여 추가 탑재할 수 있습니다.

     

     

    Basic Solution

    Health Score 기능을 통해서 딥러닝, 머신러닝 전문 엔지니어 없이도 보유한 모든 설비 파라미터 데이터에 대하여 정밀 이상 탐지가 가능합니다. 모든 데이터는 인공지능 기술 적용이 용이하도록 가공되어 맞춤형 AI 모델 개발을 위한 데이터 인프라 역할까지 수행합니다.

     

     

    Advanced Solution

    플라즈마 챔버의 가스 누출을 탐지하는 솔루션과 같이 설비와 공정의 특성에 따라 특정 문제 해결을 지원할 수 있는 다양한 맞춤형 AI 모델과 기능을 개발하여 탑재할 수 있습니다. 맞춤 개발한 솔루션들을 추가 탑재하기 용이한 구조로 설계되어 있어 뛰어난 확장성을 갖추었습니다.


     

     

     


    AI Platform for Semiconductor Equipment Performance Diagnostics: EHM (Equipment Health Manager)


    Overview of EHM

    EHM is an AI solution platform designed to diagnose and enhance the performance of semiconductor equipment, based on deep learning technology optimized for the characteristics of semiconductor process data. It seamlessly integrates with equipment in operational production lines and analyzes all equipment parameters in real time. This enables the precise detection of subtle changes that may be missed by FDC (Fault Detection and Classification) or SPC (Statistical Process Control), identifying equipment abnormalities with high accuracy. Additionally, it features solutions that predict process outcomes, allowing for precise detection of equipment-related defects.

     

    EHM Functional Structure

    EHM comprises a combination of Basic and Advanced Solutions. Thanks to its flexible system architecture with scalability in mind, custom solutions can be developed and integrated to enhance the intelligence and sophistication of semiconductor equipment.

     

    Basic Solution

    With the Health Score feature, precise anomaly detection is possible across all equipment parameters, even without deep learning or machine learning experts. All data is pre-processed to facilitate AI application, serving as a data infrastructure for custom AI model development.

     

    Advanced Solution

    Tailored AI models and functionalities can be developed and integrated to address specific issues, such as detecting gas leaks in plasma chambers. The platform is designed with easy integration of custom-developed solutions, offering exceptional scalability.

  • 회사소개

     

    알티엠 소개

    알티엠은 제조 AI 전문가, 반도체 공정 정문가, 공정 설비 전문가 등이 모여 반도체 산업을 비롯한 제조 산업에 최적화된 딥러닝 기술 기반 AI 솔루션 제품을 개발하고 상용화하였습니다.


    2018년 5월 설립 이래로 현재까지 누적 94억원의 펀딩을 완료하였으며, 30명 이상의 임직원들 중 6~70% 정도는 AI 및 제조 도메인 전문가로 구성되어 있습니다.


    반도체 장비사 및 칩 제조사와 다년간의 공동 연구개발 과정을 통해서 자체 개발한 딥러닝 기술을 기반으로 반도체 공정의 다양한 문제를 해결해왔으며 2024년에는 글로벌 TOP 3 IDM(Integrated Device Manufacturer)에 반도체 장비 성능 진단 AI 플랫폼인 EHM 제품을 납품하였습니다.

     


    RTM Overview

    RTM is a company where experts in manufacturing AI, semiconductor processes, and process equipment collaborate to develop and commercialize AI solution products based on deep learning technology, optimized for both the semiconductor and broader manufacturing industries.

     

    Since its founding in May 2018, RTM has raised a cumulative KRW 9.4 billion in funding. Of its 30+ employees, approximately 60-70% are experts in AI and manufacturing domains.

     

    Through years of joint R&D with semiconductor equipment manufacturers and chipmakers, RTM has applied its proprietary deep learning technology to solve various challenges in semiconductor processes. In 2024, RTM delivered its AI platform for semiconductor equipment performance diagnostics, EHM, to one of the global top 3 IDMs (Integrated Device Manufacturers).

  • 소개영상

  • 온라인 상담스케쥴

    반도체대전에 대한 안내
    날짜/시간 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00
    10월 23일
    10월 24일
    10월 25일
참가사에 부여된 아이디 비밀번호 확인
확인