피에조모터의 가장 큰 특징은 고정밀성과 크기가 작다는 점입니다. 특히 초음파 타입은 고속 제어가 가능하며 저속 안정성이 좋다는 장점이 있으며 LEGs 타입은 나노미터 스텝사이즈로 제어가 가능할 뿐만 아니라 백래쉬가 없는 특징을 가집니다. 

나노 정밀도를 구현하기 위해 적용된 에어베어링은 마찰을 최소화해 고성능의 위치결정, 속도 안정성을 가지며 흔들림이 없고 빠르며 정확한 모션이 가능합니다. 또한 분진이 발생하지 않아 유지보수에 용이합니다.   

Miniature Positioning System

The main characteristics of piezo motors are high precision and small size. In particular, the Ultrasonic type has the advantage of high-speed control and good low-speed stability. And the LEGs type can be operated with nanometer step size with zero backlash.

 

Air-bearing Positioning System

Air-bearing applied to realize nano-precision. The biggest feature, minimize friction make the possible to ensure high-performance positioning, speed stability and enable fast and accurate motion. In addition, it is easy to maintain as it does not generate the particle.