반도체 및 디스플레이 기술이 고도화됨에 따라 공정에서의 수율을 높이기 위한 다양한 기술들이 사용되고 있습니다.

특히 플라즈마를 활용한 공정의 경우 높은 선택비와 같은 여러가지 장점이 있어 공정에 적극 활용되고 있습니다.

시뮬레이션의 관점에서 플라즈마는 전자기장, 유동, 화학 반응 등을 고려한 계산이 필요하고, 플라즈마 챔버 내에 다양한 조건들을 고려한 분석을 해야 하기 때문에 적합한 솔루션을 찾는 것에 어려움이 있습니다.

Ansys Charge Plus는 새로운 솔루션을 통해 Multiphysic를 고려한 플라즈마 시뮬레이션 가능성을 보여줍니다.

Ansys Charge Plus : 충전 및 방전 모델링 솔루션
광범위한 애플리케이션에서 충전, 방전 및 Charged Particle Dynamics 분석을 하나의 간소화된 워크플로우로 처리하는 3D 모델링 솔루션입니다.

Ansys Charge Plus는 내부 및 표면 충전, 입자 이동, 인터페이스 간 아킹을 처리하도록 설계된 4개의 물리 솔버를 활용하여 다양한 분석을 지원하며, 이 모든 것이 Ansys Discovery CAD 인터페이스에 내장된 간소화된 워크플로우에서 이루어집니다.

[Quick Specs] 1. 유한 차분 시간 도메인(FDTD) 2. 3D Particle Transport 3. Non-linear Air Chemistry (Air Arcing 분석) 4. Ansys HPC 지원 5. 유한 요소법(FEM) 6. AGI STK 및 Ansys EnSight 호환성 7. Optimized Charge Balance Equation Solvers

8. Ansys Discovery 포함

Ansys Charge Plus : Charging and Discharging Modeling Solution

3D modeling solution of charging, discharging and charge carrier transport across a wide range of applications, in one streamlined workflow. Ansys Charge Plus supports an array of analyses by leveraging four physics solvers designed to tackle internal and surface charging, particle transport, and arcing across interfaces ?all in a streamlined workflow built into the Ansys Discovery CAD interface

[Quick Specs]

Finite Difference Time- Domain (FDTD)

3D Particle Transport

Non-linear Air Chemistry Module

Supports Ansys HPC

Finite Elements Method (FEM)

AGI STK and Ansys EnSight Compatibility

Optimized Charge Balance Equation Solvers

Integrated Pre- and Post- Processing